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半導(dǎo)體制造設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈地圖
半導(dǎo)體特氣儲運環(huán)節(jié)作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的一環(huán)，有著至關(guān)重要的地位。
半導(dǎo)體特氣主要包括氮氣、氫氣、氬氣等。這些氣體都具有一定的危險性，需要特殊的儲運方式。
半導(dǎo)體制作環(huán)節(jié)流程及半導(dǎo)體材料應(yīng)用
儲運方式：
氫氣：儲運氫氣的時候，需要使用高強度的鋼瓶或者復(fù)合材料瓶子。運輸時不可與氧氣或氧化劑混合。避免高熱、高壓或高速沖擊。儲存條件要求-40℃～50℃，保持干燥、通風(fēng)、防火。
氮氣：氮氣壓力較低，因此可以使用鋁瓶，不過需要防止瓶內(nèi)保壓過高，導(dǎo)致鋁瓶爆炸。運輸時應(yīng)避免撞擊和擺放時要保持穩(wěn)定。儲存溫度要求-196℃以下，保持干燥。
氬氣：氬氣儲運時，需要使用不銹鋼瓶或復(fù)合材料瓶子，不可與氧氣或氧化劑混合。運輸時避免高熱、高壓、高速沖擊。儲藏溫度要求-185℃以下，保持干燥。
總的來說，儲存半導(dǎo)體特氣需要的環(huán)境條件都比較嚴格，在儲運時需要精細化管理，避免發(fā)生安全問題。所以密封件的選用非常關(guān)鍵。
因半導(dǎo)體特氣儲運公司用于輸送氣體的儲罐，需要被加熱到180℃以保持或增加電子特種氣體的流量，需要與密封和罐材料相匹配以實現(xiàn)兼容性。儲罐密封性要求極高：而且是半導(dǎo)體制程中所用的任何液化壓縮氣體如NH3、CO2、SiH2Cl2、WF6、SiCl4、BCl3、HF、C4F6、HBr、CH3F等，這些超純化學(xué)罐需要低泄漏率的要求。
● 氦氣泄漏率: < 1x10-10 cc/sec
● 密封系統(tǒng): 可以是螺栓連接或者螺絲固定或者快速拆卸系統(tǒng)
所以您可以選用本公司開發(fā)的夾彈簧金屬C型密封圈；根據(jù)化學(xué)物質(zhì)的不同，選用材料可以是鎳或316不銹鋼的純金屬密封件。經(jīng)過退火處理軟化的夾彈簧金屬C型圈，有助于防止損壞法蘭凹槽表面。夾彈簧金屬C型圈的底部也有一個特殊的凹槽設(shè)計，以防止夾彈簧金屬C型密封圈被壓坍塌。
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